CVD KAPLAMA UYGULAMALARI

Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) kaplama, ince filmlerin veya kaplamaların buharlaştırılmış öncü gazların kimyasal reaksiyonu yoluyla bir alt tabaka üzerine biriktirilmesini içeren bir yüzey kaplama tekniğidir. CVD işleminde, öncü gazlar, kimyasal reaksiyonlara girdikleri ve substrat üzerinde katı bir kaplama oluşturdukları bir reaksiyon odasına veya reaktöre verilir.